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四探针测试仪

简要描述:仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。

  • 产品型号:RTS-8型
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:1985
详情介绍

 

仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
    仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点

测量范围

电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展);  
 方块电阻:10-4~106 Ω/□(可扩展); 
 电导率:10-5~105 s/cm; 
 电阻:10-5~105 Ω; 

恒流源电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调

数字电压表

量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 输入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;

基本指标

间距:1±0.01mm;
 针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 
 机械游移率:≤0.3%;
 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
 探针压力:5~16 牛顿(总力); 

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