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四探针测试仪的使用注意事项

 更新时间:2016-07-27 点击量:2491
     四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
    四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
    四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析。
   四探针测试仪    四探针测试仪的使用注意事项:
    四探针测试仪的探头由四根探针阻成,要求四根探针头部的距离相等。四根探针由四根引联接到方阻测试仪上,当探头压在导电薄膜材料上面时,方阻计就能立即显示出材料的方阻值,具体原理是外端的两根探针产生电流场,内端上两根探针测试电流场在这两个探点上形成的电势。因为方阻越大,产生的电势也越大,因此就可以测出材料的方阻值。需要提出的是虽然都是四端测试,但原理上与图二所示用铜棒测方阻的方法不同。因电流场中仅少部分电流在:(要求探针头之间的距离相等,否则就要产生等比例测试误差。)
    四探针测试仪测试探针头与导电薄膜接触的点越小越好。但实际应用时,因针状电极容易破坏被测试的导电薄膜材料,所以一般采用圆形探针头。如果材料是蒸发铝膜等,蒸发的厚度又太薄的话,形成的铝膜不能均匀的连成一片,而是形成点状分布,此时方块电阻值会大大增加,与通过称重法计算的厚度和方阻值不一样,因此,此时就要考虑到加入修正系数。